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扩散                    平面光刻工艺                       离子注入

3 I" Q1 F! c% v5 g( B图一.5台机器，6个步骤的微型FAB工艺流程示意图

微型FAB包括在3种不同的机器组，6个步骤的工艺流程和2种产品晶片和试验晶片。在每个机器组，步骤4，5，6处都是一个再进入入口。机器组包括扩散—C1（2个机器Ma和Mb），离子注入－C2（2个机器Mc和Md）和平面光刻技术－C3（一个机器Me）。
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