喜事

alei

扩散                    平面光刻工艺                       离子注入
% @0 h5 x; ?3 i8 e$ k2 |
+ v: y1 B4 w6 o; m! @7 f图一.5台机器，6个步骤的微型FAB工艺流程示意图
. _5 h& x! A; z/ n: D7 o
微型FAB包括在3种不同的机器组，6个步骤的工艺流程和2种产品晶片和试验晶片。在每个机器组，步骤4，5，6处都是一个再进入入口。机器组包括扩散—C1（2个机器Ma和Mb），离子注入－C2（2个机器Mc和Md）和平面光刻技术－C3（一个机器Me）。
# y0 A* m" T( J# u# G* e2 r+ \求大家用extendsim7仿真谢谢邮箱641395644@163.com